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978-3-95900-043-7Elektromagnetischer Mikroaktor zur Erzeugung einer Flssiglinse Autor: Dominik Hoheisel ISBN: 978 3 95900 043 7 Dissertation, Leibniz Universitt Hannover, 2015 Herausgeber der Reihe: Lutz Rissing Band Nr.: IMPT 03 2015 Umfang: 132 Seiten, 67 Abbildungen Schlagworte: elektromagnetischer Mikroaktor, einstellbare Flssiglinse, transparente Polyimid Membran, nasschemisches tzen, Folienmasken, integrierter kapazitiver Kurzfassung: Diese Dissertation
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Elektromagnetischer Mikroaktor zur Erzeugung einer Flüssiglinse

Autor: Dominik Hoheisel

ISBN: 978-3-95900-043-7

Dissertation, Leibniz Universität Hannover, 2015

Herausgeber der Reihe: Lutz Rissing

Band-Nr.: IMPT 03/2015

Umfang: 132 Seiten, 67 Abbildungen

Schlagworte: elektromagnetischer Mikroaktor, einstellbare Flüssiglinse, transparente Polyimid-Membran, nasschemisches Ätzen, Folienmasken, integrierter kapazitiver

Kurzfassung:

Diese Dissertation beschreibt die Modellbildung, die Technologieentwicklung mit anschließender dünnfilmtechnischer Fertigung und die Charakterisierung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer einstellbaren Flüssiglinse. Der Mikroreluktanzaktor besteht aus einer planaren Mikrospule mit einer weichmagnetischen Flussführung. Der von der Spule erzeugte magnetische Fluss zieht einen ringförmigen Rückschluss an, der auf einer transparenten Polyimid-Membran hergestellt ist. Die Bewegung des Rückschlusses verdrängt eine optisch transparente Flüssigkeit in der Kammer zwischen der Spule und der Membran, sodass in der Mitte des Rückschlusses eine Flüssiglinse entsteht. In den Aktor ist ein kapazitiver Sensor zur Abstandsmessung im Luftspalt integriert.

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