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Elektromagnetischer Mikroaktor zur Erzeugung einer Flüssiglinse
Autor: Dominik Hoheisel
ISBN: 978-3-95900-043-7
Dissertation, Leibniz Universität Hannover, 2015
Herausgeber der Reihe: Lutz Rissing
Band-Nr.: IMPT 03/2015
Umfang: 132 Seiten, 67 Abbildungen
Schlagworte: elektromagnetischer Mikroaktor, einstellbare Flüssiglinse, transparente Polyimid-Membran, nasschemisches Ätzen, Folienmasken, integrierter kapazitiver
Kurzfassung:
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